荷兰正式宣布,禁售DUV光刻机,中方回应:别无选择,将自主制造

面包芯语   2023-05-13 10:26:08

荷兰ASML掌握全球顶级的光刻机制造技术,是唯一能量产EUV光刻机的厂商,制程低一些的DUV光刻机也是ASML占据市场主导地位。

可即便荷兰光刻机产业实力再强,也成为了美国的“打手”,荷兰已正式宣布,禁售DUV光刻机。中国传来消息,正式回应称:若别无选择,将自主制造。

EUV光刻机使用了大量美国技术,所以当美国有意限制EUV光刻机出货的时候,荷兰ASML公司无法拒绝。


【资料图】

不过对于DUV光刻机,美国技术占比并不高,且ASML自研深耕了几十年,美国已无法从技术的角度对DUV光刻机展开限制。

于是荷兰成为了美国拉拢的对象,要求荷兰加入限制阵营。起初荷兰的态度是拒绝的,表示不会照搬美国对华的政策。本以为荷兰的态度能坚持到底,没想到今年1月底ASML传来荷兰、美国、日本达成协议的消息,荷兰最终还是妥协了。

在3月8日,荷兰宣布对最先进的DUV光刻机实施出口管制。根据ASML的解读,“最先进的”DUV光刻机涉及NXT:2000i及以上型号的设备。先进制程较低的DUV浸润式光刻机是能够继续出货的。

ASML分析可出货的范围,是在表达会继续和客户保持合作意愿,并不是所有的DUV光刻机都会被限制,其余可出货的产品可放心购买。

尽管如此,荷兰妥协的态度已经说明一切,这次能够妥协,下一次呢?若美国有更多的限制需求,荷兰是否还会限制更多设备出货。从EUV光刻机到DUV光刻机,外界认为不可能发生的限制行动都在一步步实现,所以该抛弃幻想,认清现实了。

针对荷兰的行为,中方回应了,表示:“中国不会忍气吞声,如果别无选择,将会尝试自主制造类似产品。”

荷兰本来可以自己选择经济发展方式,把光刻机卖给世界各国供应商。若能保持自由出货的话,半导体产业经济肯定能取得更好的成绩,ASML的营收也能迈上更高的台阶。

只不过荷兰做出了选择,站队美国,结果只会是一地鸡毛,将来ASML的光刻机有可能会在中国市场被替代。

中国表明了态度,别无选择的话就会自主制造。中国有自己的光刻机厂商,名叫上海微电子。目前上海微电子的光刻机可实现90nm芯片量产,别看只有90nm,但上海微电子正在推进193nm波长的ArF浸润式光刻机,最高可覆盖45nm-22nm制程。

一旦突破了最终的验证关卡,替代ASML的部分DUV浸润式光刻机未必不可能。

ASML也说过,如果不能出货光刻机给中国,将来中国会自己制造,物理规则在中国也是一样的,永远不要说永远。

ASML说出这番话也许是想引起西方的重视,别一错再错了,否则将来会失去这部分的市场生意。当然,也许ASML正视了中国自研的决心,知道中国没有进口支持的话,就会走自研路线。

历史上许多案例都证明,国外封锁的技术最终都被中国搞出来了,然后做大做强,再进一步发展国际市场,把价格打下来,击败西方供应商。

最典型的就是盾构机,中国没有掌握这项技术之前,西方进口的价格是3.5亿元,中国打破盾构机垄断之后,从德国进口一台盾构机只需要5000万元,日本进口的价格变成3000万元。

如果国外供应商不接受这样的价格,中国完全可以自给自足,到时候不但拿不到订单,还会彻底失去这个市场。因此买卖双方的关系发生变化,定价权已经在买方手中了,卖方想办法也要把产品卖出去,谈何限制。

同样的道理,中国目前面临光刻机的技术难题,虽然难度巨大,但再难的技术都是一点一滴积累起来的。

ASML靠着全球各国的支持,获得顶级的科技产品把光刻机组装起来,这背后有难以想象的工作量。短时间内国产光刻机也许无法达到EUV光刻机的水准,不过在DUV光刻机领域,未必不能有国产突破。

先满足部分需求,再积累更多的研发经验,继续瞄准更先进的技术领域出发,直至目标终点。